Digitalna termalna masena mjerila protoka i regulatori

Brooks® digitalni  termalni masena mjerila protoka osiguravaju brži odziv, bolju točnost mjerenja i regulacije od analognih uređaja


  • Velika ponovljivost osigurava stabilan proces čak i pod promjenjivim uvijetima.
  • Vrijeme ispada uklonjeno samo-dijagnostikom i alarmima.
  • Višestruki komunikacijski protokoli omogućavaju integraciju u mnoge kontrolne sisteme.
  • Opcija brtvljenja elastomerom pruža iznimnu nepropusnost i 100% zatvaranje ventila.
  • Ultra-high purity (UHP) i brtvljenje metal na metal osiguravaju čiste čistoću uređaja (higijenska izvedba) za procese osjetljive na nečistoće
  • Dostupan sa standardnim alanognim ili digitalnim I/O
  • Globalno odobren za razne primjene

 Digital Thermal Mass Flow

Model

Type

Full Scale Capacity

Accuracy

Max Pressure

Max Temp

Input/
Output

bar

psig

C

F

SLA5800 Series

Elastomer Seal
Meter/Controller
3 sccm - 2500 slpm  0.7% Rate
& 0.2% FS
 300  4500  65  150 0-5 Vdc, 4-20mA,
DeviceNet™,
FOUNDATION fieldbus™,
RS-485

5800S Series

Mass Flow
Meter/Controller
3 sccm - 2500 slpm  0.7% Rate
& 0.2% FS
 300  4500  65  150 0-5 Vdc, 4-20mA,
RS-232/485

4800 Series

Mass Flow
Meter/Controller
50 sccm - 40 slpm  ±1% FS
& ±3% FS
 10  150  50  122 0-5 Vdc
4-20 mA